高壓大電流測(cè)試探針測(cè)試臺(tái)參數(shù)規(guī)格
重量:
CL-4 50KG左右(帶顯微鏡)
CL-6 60KG左右(帶顯微鏡)
CL-8 80KG左右(帶顯微鏡)
尺寸:
CL-4約 560mm寬*610mm長(zhǎng)*550mm高(帶顯微鏡)
CL-6 約600mm長(zhǎng)*650mm寬*600mm高(帶顯微鏡)
CL-8 約640mm長(zhǎng)*720mm寬*620mm高(帶顯微鏡)
CL系列探針座臺(tái)面規(guī)格
探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm。
CL-4臺(tái)面可以同時(shí)容納8-10個(gè)探針座
CL-6,CL-8分別可以同時(shí)容納10-12個(gè)探針座
CL-12臺(tái)面可以同時(shí)容納12個(gè)以上探針座
卡盤(載物臺(tái))規(guī)格 (可選配鍍金卡盤,高溫加熱卡盤)
卡盤尺寸分為4" ,6",8"三種
卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑*小可做到250微米(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為4"X4"(6"X6",8"X8")。