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CS探針臺(tái)能夠勝任的測試有：

使用說明 (例如使用場所、工作原理、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、安全操作說明等)

探針臺(tái)的使用                                                          

1. 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2. 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3. 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。

4. 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。

5. 待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

6. 確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。

7.    

   

   
   

   常見故障的排除                                                       

   當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。

    

   癥狀	可能原因	解決方法
   移動(dòng)樣品后畫面變模糊	顯微鏡不垂直	調(diào)垂直顯微鏡
   	樣品臺(tái)不水平	調(diào)水平樣品臺(tái)
   	樣品不平
   顯微鏡視場亮度不足，邊緣切割或看不到像	轉(zhuǎn)換器不在定位位置上	把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上
   	管鏡轉(zhuǎn)盤不在定位位置上	把管鏡轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)到定位位置上
   	照明的亮度不足	調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大
   	沒有裝目鏡	裝上目鏡
   	沒有裝物鏡	裝上物鏡
   顯微鏡像質(zhì)變差	目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟	對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔
   	孔徑光欄關(guān)的太大或者太小	調(diào)節(jié)孔徑光欄
   	沒有調(diào)好焦	調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪
   	樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì)	移開蓋玻片等介質(zhì)
   圖像***邊清晰，***邊模糊	樣本傾斜放置	放平樣本，或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平
   	物鏡沒有旋緊	旋緊物鏡
   眼睛容易疲勞	雙目頭的瞳距和操作者不匹配	調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距
   	目鏡視度調(diào)節(jié)不正確	調(diào)節(jié)目鏡視度
   	照明亮度不合適	調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔