主要技術(shù)參數(shù)：
（1）曝光面積：100mm×100mm；
（2）照明不均勻性： ≤3%（ Ф100mm 范圍）；
（3）分辨力：1.0 μm（膠厚 2.0 μm 的正膠，365nm 波長(zhǎng)）
（4）對(duì)準(zhǔn)精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；
（6）樣片尺寸：直徑 Ф15mm－－ Ф100mm、厚度 0.1mm－－6mm；
（7）掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm;Thelta:±6°；
（8）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（進(jìn)口）；
（10）曝光波長(zhǎng)：365nm；
（11）曝光強(qiáng)度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定時(shí)：***方式(0.1s—9999.9s 任意設(shè)定).
（13）調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)
（14）數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
技術(shù)構(gòu)成與配置
設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)、CCD 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)等部分構(gòu)成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括:
◆ 進(jìn)口紫外 LED 光源模塊；
◆ LED 光源整形模塊；
◆ XYZ 光源位置調(diào)節(jié)臺(tái)；
◆ 光學(xué)系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門(mén)、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、場(chǎng)鏡組、反射鏡組）；
◆ 冷卻風(fēng)扇。
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)系統(tǒng)包括：
◆ 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)（XY）；
◆ 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；
◆ 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，采用三爪加球氣浮自動(dòng)調(diào)平方式；
◆ 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，采用電機(jī)加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；
◆ 承片臺(tái) 4 個(gè)（Ф15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 個(gè)）；
◆ 掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 個(gè)）。
（3）CCD 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括：
◆ 對(duì)準(zhǔn)光源 LED 燈；
◆ 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體；
24 ◆ 目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）；
◆ 物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器。
（4）電控系統(tǒng)包括：
◆ 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
◆ 紫外 LED 電源模塊；
◆ 控制柜桌。
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)包括：
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)、電磁閥驅(qū)動(dòng)、氣動(dòng)儀表等 。
(6)．輔助設(shè)備配置:
◆ 真空泵 1 臺(tái)（干泵）；
◆ 靜音空氣壓縮機(jī) 1 臺(tái)；
◆ 配套接管 10m；
(7)．備品備件
◆ 對(duì)準(zhǔn)光源燈 4 只（LED-1W，不包括機(jī)器自帶的兩只）；
滬公網(wǎng)安備31011502016460號(hào)
